Drukuj

Ultraczyste tworzywa Stat-Loy firmy SABIC

Ultraczyste tworzywa Stat-Loy firmy SABIC
Nowe, ultraczyste tworzywa Stat-Loy firmy SABIC Innovative Plastics wykorzystywane są w przemyśle półprzewodnikowym.

- Klienci wymagają coraz większej uniwersalności i funkcjonalności urządzeń elektronicznych. W odpowiedzi przemysł półprzewodnikowy dąży do zwiększenia liczby funkcji realizowanych przez istniejące układy scalone. Nowa generacja procesu technologicznego produkcji kości półprzewodnikowych oparta jest na fotolitografii z wykorzystaniem lasera argonowo-fluorowego (ArF). Zastosowanie laserów ArF zostało opóźnione przez brak wystarczająco czystych tworzyw, które mogłyby stanowić budulec pojemników ochronnych używanych w procesie produkcji układów scalonych. Chcąc sprostać temu wyzwaniu i odpowiedzieć na potrzeby klientów, opracowaliśmy ultraczyste i przezroczyste tworzywa serii Stat-Loy 63000CT - tłumaczą przedstawiciele firmy SABIC.

Tworzywa UPT Stat-Loy stosowane są w elementach zabezpieczających płytki półprzewodnikowe i chronią przed uszkodzeniami spowodowanymi odgazowywaniem, które może doprowadzić do zanieczyszczenia płytek, zwiększenia liczby odrzutów i podniesienia kosztów.

Proces technologiczny układów scalonych wymaga spełnienia surowych kryteriów w pomieszczeniach czystych. Wraz ze zmniejszaniem wymiarów poszczególnych elementów coraz większego znaczenia nabierają zanieczyszczenia pochodzące z odgazowywania tworzywa. Gdy organiczne substancje lotne lub wypłukiwane jony docierają do powierzchni płytki krzemowej, maski fotolitograficznej lub siatki, mogą uszkodzić urządzenie lub zakłócić jego funkcjonowanie. Korzystanie z mocniejszych laserów ArF oznacza jeszcze większe narażenie płytek i pojemników na uszkodzenia będące skutkiem odgazowywania.

Ultraczyste tworzywa Stat-Loy firmy SABIC

- Niedoskonałości dostępnych materiałów na pojemniki opóźniła przejście na stosowanie laserów ArF o wiele lat - ocenia Yeo Aun Hua, menedżer produktu LNP, SABIC Innovative Plastics. - Nasza firma uznała, że zastosowanie tej nowej technologii ma kluczowe znaczenie dla producentów układów scalonych i z myślą o tym opracowała tworzywa UPT Stat-Loy 63000CT, które eliminują podstawową przeszkodę w procesie miniaturyzacji podzespołów. Nasze prace badawczo-rozwojowe i zaangażowanie w innowacje pomoże producentom układów scalonych we wdrożeniu laserów ArF w celu uzyskania bardzo drobnych obwodów o rozmiarach 45 nm i mniejszych.

Niedawno spółka Gudeng Precision Industrial Co. stała się jednym z największych producentów ultraczystych pojemników do transportu i przechowywania masek fotolitograficznych oraz sprzętu do czyszczenia siatek ze zmienną fazą (w technologii PSM) i siatek o najwyższych parametrach.

Poshin Lee, jej kierownik techniczny, twierdzi, że Stat-Loy 63000CT jest odpowiednim materiałem na zasobniki do transportu płytek i masek fotolitograficznych w procesie produkcji. Spełnia przy tym kluczowe wymagania w zakresie czystości i zapewnia niski poziom ryzyka zanieczyszczeniem podczas transportu wewnątrzfabrycznego.

Chcą dostarczyć odpowiednie rozwiązania SABIC Innovative Plastics poszerzył obecną gamę produktów LNP Stat-Loy o tworzywa serii Stat-Loy 63000CT, które są ultraczyste, przezroczyste i trwale antystatyczne, a także charakteryzują się bardzo niskim poziomem odgazowywania organicznych substancji lotnych i niskim poziomem wypłukiwanych jonów.

Dla porównania, przezroczysty, antystatyczny metakrylan poli(metylowy) (PMMA) przejawia wysoki poziom odgazowywania, co prowadzi do tworzenia się mgiełki. Nieprzezroczyste, czarne tworzywa uniemożliwiają z kolei sprawdzanie numerów siatek i masek fotolitograficznych z numerami opakowania bez otwierania pojemnika. Natomiast tworzywa UPT Stat-Loy 63000CT zapewniają klarowność, czystość i przewodność elektryczną. Co więcej, ich budowa oparta na stopie poliwęglanowym zapewnia 20-krotnie większą odporność na uderzenia niż inne materiały na rynku.

Nowy materiał poddaje się zabarwianiu na praktycznie dowolny kolor w procesie wtrysku, podczas formowania można również wytworzyć szereg specjalnych efektów kolorystycznych. Tworzywa serii UPT Stat-Loy 63000CT nadają się na urządzenia do ochrony płytek, kontenery na układy scalone, opakowania systemów MEMS, zasobniki masek oraz pojemniki transportowe.

Czytaj więcej: Tworzywa sztuczne 692

Szeroka paleta poliolefin - polietylen, polipropylen - przenaczonych zarówno do formowania wtryskowego
Biznes Plus

SABIC Poland Sp. z o.o.

Szeroka paleta poliolefin - polietylen, polipropylen - przenaczonych zarówno do formowania wtryskowego jak również do wytłaczania, tworzywa konstrukcyjne