Syensqo ogłosiło wybór swojej linii produktów perfluoroelastomerów Tecnoflon FFKM NFS przez koreańską firmę Innores, specjalizującą się w rozwiązaniach uszczelniających, do zastosowań w procesach produkcji półprzewodników. Jest to pierwsze komercyjne wdrożenie materiałów z tej rodziny, opracowanych jako perfluoroelastomery o wysokiej odporności chemicznej i na plazmę oraz podwyższonej stabilności termicznej, wytwarzanych bez stosowania fluorotensydów należących do grupy związków PFAS. Innores integruje te materiały w elementach uszczelniających, takich jak O-ringi, uszczelnienia zespolone, zawory zasuwowe, pokrywy komór oraz komponenty pomp próżniowych, dostarczając je do niektórych z największych producentów półprzewodników na świecie. Współpraca obu firm wpisuje się w szerszy kontekst dążenia branży do rozwiązań ograniczających oddziaływanie na środowisko przy zachowaniu parametrów wymaganych w zaawansowanych procesach mikroelektroniki.
Zakres zastosowań Tecnoflon FFKM NFS w branży półprzewodników
Portfolio materiałów Tecnoflon FFKM NFS opracowano do pracy w środowiskach o wysokiej agresywności chemicznej oraz w zaawansowanych procesach plazmowych, typowych dla współczesnych technologii wytwarzania układów scalonych. Kluczowe wymagania w tym obszarze obejmują odporność na szerokie spektrum mediów procesowych, stabilność wymiarową i materiałową w podwyższonych temperaturach oraz ograniczenie zanieczyszczeń, które mogłyby wpływać na jakość i uzysk linii produkcyjnych. Zgodnie z informacjami przekazanymi przez firmy, materiały FFKM z tej serii łączą wysoką odporność chemiczną i na plazmę z bardzo dobrą stabilnością termiczną. Jednocześnie ich wytwarzanie odbywa się bez użycia fluorotensydów klasyfikowanych jako PFAS, co stanowi element odpowiedzi na rosnące wymagania regulacyjne i oczekiwania dotyczące odpowiedzialności środowiskowej w łańcuchach dostaw.
Rozwiązania Innores oparte na Tecnoflon FFKM NFS obejmują szeroką gamę komponentów uszczelniających stosowanych w krytycznych punktach urządzeń procesowych. O-ringi i uszczelnienia zespolone pracują w połączeniach statycznych i dynamicznych, gdzie konieczne jest ograniczenie wycieków przy zmiennych warunkach ciśnienia i temperatury. Zawory zasuwowe i pokrywy komór wymagają materiałów uszczelniających o wysokiej odporności na powtarzające się cykle pracy oraz ekspozycję na plazmę i agresywne gazy procesowe. Z kolei komponenty pomp próżniowych muszą zapewniać stabilne warunki pracy w środowiskach niskociśnieniowych, przy jednoczesnym minimalizowaniu emisji i zanieczyszczeń cząstkami.
Perspektywa Syensqo na współpracę z Innores
Syensqo podkreśla znaczenie pierwszego komercyjnego wdrożenia materiałów Tecnoflon FFKM NFS jako kroku w dalszym rozwoju oferty dla sektora półprzewodników. Andrew Lau, Senior Executive Vice President of Electronics & Industrial w Syensqo Specialty Polymers, zwraca uwagę, że współpraca wykracza poza aspekt wyłącznie handlowy.
- To partnerstwo jest czymś więcej niż osiągnięciem komercyjnym; odzwierciedla wartości Syensqo i nasze zobowiązanie do wywierania pozytywnego wpływu poprzez naukę i współpracę. Ścisła współpraca z partnerami takimi jak Innores pozwala nam poszerzać zasięg na globalnym rynku półprzewodników, dostarczając zaawansowane materiały niektórym z najbardziej wpływowych podmiotów w branży – mówi Andrew Lau. - Wzmacnia to również naszą reputację jako zaufanego partnera dla klientów poszukujących zarówno parametrów użytkowych, jak i zrównoważonego podejścia w łańcuchach dostaw.
W komunikacie podkreślono, że dzięki współpracy z partnerami takimi jak Innores Syensqo zwiększa swoją obecność na globalnym rynku półprzewodników, dostarczając materiały kluczowym podmiotom w tym sektorze. Firma wskazuje także na rolę rozwiązań materiałowych w łączeniu wymagań dotyczących niezawodności i parametrów pracy z rosnącym naciskiem na zrównoważone praktyki w łańcuchach dostaw.
Nacisk na odpowiedzialność środowiskową i efektywność procesową
Współpracę Syensqo i Innores przedstawiono w kontekście wspólnej wizji odpowiedzialnej produkcji oraz dbałości o środowisko. Jak podkreśla Kyoung Il Kim, Chief Operating Officer w Innores, obie firmy koncentrują się na rozwijaniu rozwiązań technologicznych wspierających bardziej zrównoważone procesy w przemyśle półprzewodników.
- To, co czyni tę współpracę jeszcze bardziej istotną, to wspólne zaangażowanie w zrównoważony rozwój i odpowiedzialną produkcję. Trwające działania Innores na rzecz poprawy efektywności energetycznej, minimalizacji odpadów oraz rozbudowy śledzenia emisji są ściśle zbieżne z misją Syensqo, aby stymulować przełomowe osiągnięcia naukowe służące rozwojowi ludzkości – mówi Kyoung Il Kim. - Wspólnie dokonujemy wymiernych postępów we wspieraniu bardziej zielonej i odpowiedzialnej branży półprzewodników.
W komunikacji firm podkreślono, że Innores konsekwentnie rozwija działania związane z poprawą efektywności energetycznej, minimalizacją odpadów oraz rozbudową systemów monitorowania emisji. Są to obszary, które Syensqo wskazuje jako spójne z własną misją rozwijania innowacji naukowych wspierających odpowiedzialne technologie. Strony akcentują, że integracja materiałów Tecnoflon FFKM NFS w elementach uszczelniających dla procesów półprzewodnikowych stanowi część szerszego podejścia do ograniczania wpływu na środowisko przy utrzymaniu wysokich parametrów pracy instalacji produkcyjnych.
Wspólne działania Syensqo i Innores wpisują się w szerszy trend w branży mikroelektroniki, w którym rozwój materiałów polimerowych i elastomerowych jest ściśle powiązany z wymaganiami niezawodności procesów oraz spełniania kryteriów środowiskowych. Dobór perfluoroelastomerów o odpowiednio zdefiniowanych właściwościach chemicznych i termicznych staje się jednym z kluczowych elementów projektowania nowoczesnych systemów uszczelnień w instalacjach do produkcji półprzewodników.
