Trelleborg Sealing Solutions zaprezentuje swoje najnowsze rozwiązania uszczelniające dla urządzeń do produkcji półprzewodników (wafer fab) i strefy subfab na Semicon Europa 2025, stoisko 311 w hali C1 w Messe München, w dniach 18–21 listopada. Firma zademonstruje możliwości inżynieryjne opracowane dla procesów półprzewodnikowych charakteryzujących się skrajnymi temperaturami, agresywną chemią i pracą w próżni, w tym wykorzystanie analizy metody elementów skończonych (MES/FEA) do modelowania odkształcenia trwałego po ściskaniu (compression set) i wspierania prognoz czasu eksploatacji uszczelnień na etapie projektowania produktów. Ekspozycja obejmuje rozszerzoną gamę materiałów perfluoroelastomerowych i fluoroelastomerowych do procesów osadzania, trawienia, strip (usuwanie fotorezystu), czyszczenia plazmowego i operacji termicznych, a także zespoły do transferu wafli. Trelleborg podkreśli również rozbudowę europejskiego zakładu produkcyjnego dla branży półprzewodników na Malcie, w ramach której dodano ponad 500 m² pomieszczeń czystych dedykowanych wyrobom z FKM i FFKM; uruchomienie produkcji w nowej części zaplanowano na połowę 2026 r.
Najważniejsze elementy portfolio
Isolast PureFab: portfolio perfluoroelastomerów zaprojektowanych do wymagających procesów front-end, w tym osadzania, trawienia, ash/strip (usuwanie fotorezystu), czyszczenia plazmowego oraz procesów termicznych, takich jak osadzanie warstw atomowych. PureFab łączy wysoką stabilność temperaturową, wysoką czystość, wyjątkowo niską zawartość metali śladowych i wysoką odporność na plazmę. Te właściwości ograniczają generację cząstek i zapewniają bardzo niskie odgazowywanie w warunkach wysokiej próżni, umożliwiając wydłużenie cykli serwisowych i wspierając maksymalizację uzysku procesu.
Zespolone uszczelki drzwi zaworu szczelinowego: dynamiczne uszczelnienia gumowo‑metalowe do komór transferu wafli, zapewniające istotnie wyższą wydajność niż konwencjonalne O‑ringi. Konstrukcja zapewnia dłuższą żywotność i bardziej niezawodne uszczelnienie, przy bardzo niskiej emisji cząstek i wysokiej trwałości, co pomaga ograniczać kosztowne przestoje i częstotliwość konserwacji. Produkt zgodny ze standardami branży półprzewodników.
Turcon Variseal NW: uszczelka kołnierzowa z obudową z materiału Turcon, która obejmuje sprężynę dociskową, eliminując kontakt sprężyny lub wnęki sprężyny z medium procesowym. Przeznaczona do zastosowań półprzewodnikowych, działa niezawodnie w próżni i jest sprawdzona w środowiskach z gazem fluorowym.
Uszczelka kołnierzowa Isolast K‑Fab: oparta na elemencie uszczelniającym z FFKM opracowanym dla zastosowań półprzewodnikowych. Element elastomerowy jest odporny na skrajne temperatury i złożone chemikalia występujące w krytycznych środowiskach subfab. Zużywając mniej materiału niż tradycyjne O‑ringi, poprawia zachowanie termiczne i eliminuje efekty rozszerzalności cieplnej oraz przepełnienie rowka.
Możliwości inżynieryjne i produkcyjne
Komentując warunki pracy uszczelnień w przemyśle półprzewodnikowym, Chris Busby, Global Segment Director Semiconductor, powiedział - Skrajne temperatury i coraz bardziej agresywne prekursory chemiczne, które w coraz większym stopniu charakteryzują środowiska półprzewodnikowe, wymagają coraz bardziej niezawodnych rozwiązań uszczelniających, aby zapobiegać przedwczesnym awariom. Na Semicon Europa 2025 zaprezentujemy najnowsze innowacje w naszym portfolio półprzewodnikowym, specjalnie zaprojektowane, by sprostać tym wyzwaniom. Dodał - Jako klient Trelleborga korzystasz z zaawansowanych możliwości inżynieryjnych pozwalających opracować właściwe rozwiązania na zamówienie dla coraz bardziej ekstremalnych środowisk fab i subfab, w tym z unikalnej możliwości modelowania danych dotyczących odkształcenia trwałego po ściskaniu z wykorzystaniem analizy MES (FEA). To istotna zmiana technologiczna; zaawansowana FEA zapewnia inżynierom bardziej dokładne prognozy czasu użytkowania uszczelnienia podczas projektowania i wytwarzania wyrobów.
Trelleborg informuje o znaczącej rozbudowie swoich europejskich zdolności produkcyjnych dla branży półprzewodników na Malcie. Zakład dodał ponad 500 m² pomieszczeń czystych przeznaczonych dla wyrobów z FKM i FFKM, z możliwością dalszego rozszerzania zdolności w przyszłości. Rozpoczęcie produkcji w rozbudowanej części zaplanowano na połowę 2026 r.
Isolast PureFab JPF42, perfluoroelastomer (FFKM) do pracy w bardzo wysokich temperaturach, opracowany do wymagających zastosowań subfab i procesów termicznych, w tym szybkiej obróbki termicznej (RTP), osadzania warstw atomowych (ALD) i utleniania.
